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日本嚴(yán)選!!ULVAC愛發(fā)科大流量干式真空泵

日本嚴(yán)選?。LVAC愛發(fā)科大流量干式真空泵 GR60A
池田屋實業(yè)優(yōu)勢供應(yīng) ,并提供報價圖片

  • 更新時間:2025-06-07
  • 產(chǎn)品型號:GR60A
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 訪  問  量:103
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產(chǎn)品詳情

日本嚴(yán)選??!ULVAC愛發(fā)科大流量干式真空泵 GR60A

日本嚴(yán)選??!ULVAC愛發(fā)科大流量干式真空泵 GR60A


干泵"Model:GR"是以獲得良好業(yè)績和信賴的"Model:LR/HR"為基礎(chǔ)設(shè)計的,面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計的簡單結(jié)構(gòu)的泵。

特點

  • 可應(yīng)用于大氣真空間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷領(lǐng)域,可在高負(fù)荷下持續(xù)使用。

  • 適用load lock室(裝載/卸載室),可實現(xiàn)高吞吐量。

  • 感應(yīng)電機可通用

  • 可以安裝防爆電機等特殊電機(可選)

  • 采用多電壓兼容電機

用途

  • 空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣

  • 各種成膜設(shè)備放入取出室的真空排氣

  • 真空干燥,真空氣體置換和真空脫泡等一般產(chǎn)業(yè)

  • 真空氣體置換,如真空熱隔絕和氣體填充

規(guī)格

型號

GR60A

GR90A

GR180A

最大排氣速度

50Hz

m3/h(L/min)

62(1030)

112(1860)

183(3100)

60Hz

m3/h(L/min)

80(1333)

126(2100)

237(3850)

極限壓力 *1

Pa

5.0

最大排氣壓力(吸入圧力)

大氣壓

最大排氣口壓力(排出圧力)

Pa

1.0 ~ 大氣壓

吸氣口

VG50

VG80

排氣口

NW40

DRP表面處理

電機

輸出 [kW]

2.2

3.7

7.5

電壓 [V]

50Hz

200~240/380~415

60Hz

200~240/380~460

質(zhì)量

kg

128

188

268

冷卻方式

冷卻水
一次供給壓力

MPa

0.1~0.3

冷卻水
出入口壓差

MPa

>0.1

冷卻水溫度

10~30 *2

冷卻水流量

L/min

>5.0

氮氣

一次側(cè)
供給圧力

MPa

0.1~0.5

二次側(cè)
調(diào)整圧力 *3

MPa

0.05 to 0.1 (運作時)

SLM

5.0 *4

*1 極限壓力是氮氣(軸封氣體)為5.0 SLM時的值。
*2 不結(jié)露。
*3 通過調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計值。
*4 氮氣(軸封氣體)的流量固定為5.0SLM。


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